加工半導體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱

加工半導體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱簡介

       加工半導體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

      智能無塵烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制。

特點

全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
采用水平送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
強制送風循環(huán)方式，雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度。

?智能制造主要指生產(chǎn)線現(xiàn)場的生產(chǎn)過程管理、現(xiàn)場監(jiān)控和控制等，包括智能工廠生產(chǎn)過程的數(shù)據(jù)采集及分析，實現(xiàn)生產(chǎn)過程、設備、資源監(jiān)控的可操作和可視化；要能支持采集不同現(xiàn)場設備數(shù)據(jù)的要求，支持將生產(chǎn)數(shù)據(jù)及設備故障信息顯示在監(jiān)控站的屏幕上，實現(xiàn)生產(chǎn)過程的動態(tài)監(jiān)控與管理；實現(xiàn)智能設備、機器人和生產(chǎn)線、用戶全流程互聯(lián)對話，實現(xiàn)人機、機機互聯(lián)下的高品質、高效、柔性自動化生產(chǎn)等。

技術參數(shù)

無塵等級：Class 10/100/1000;     
溫度均勻度：±2℃;    
溫度波動度：±0.5℃（空載）；        
溫控精度：±0.1℃;
進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;
排風口： φ3”排風管（外接φ5＂法蘭）;       
電源：380v , 50Hz，
網(wǎng)板：2-5層 , 單層載重量可需承重50kg；
潔凈度：100、10級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100/10級潔凈度。

控制器

  高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

一目了然、直觀的顯示  
搭載了新的控制算法「RSS(升降溫?恒溫?穩(wěn)定)」  
程序程式輸出功能(多3點)  
大容量 多1024段程序  
雙模式信號輸出  
對應各種狀況(程式終止狀態(tài)、等待判斷等)  
綜合管理大量的設定值，存儲組功能  
程序聯(lián)合運行功能(控制器間的通信)  
前面板接口通信+程序設定工具